Technologien der Mikrosysteme
- Format
- E-bog, ePub
- Tysk
Normalpris
Medlemspris
Beskrivelse
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.
Detaljer
- SprogTysk
- Udgivelsesdato01-01-2023
- ISBN139783658374983
- Forlag Springer Fachmedien Wiesbaden
- FormatePub
Anmeldelser
Vær den første!
Findes i disse kategorier...
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Teknologi, ingeniørvidenskab og landbrug
- Elektronik og kommunikationsteknik
- Elektroteknik
- Elektronik: kredse og komponenter
- Technologien der Mikrosysteme
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Teknologi, ingeniørvidenskab og landbrug
- Maskinteknik og materialer
- Maskinteknik
- Technologien der Mikrosysteme
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Matematik og naturvidenskab
- Kemi
- Uorganisk kemi
- Technologien der Mikrosysteme