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Studiebog
Paperback version af Technologien der Mikrosysteme af Ha Duong Ngo

Technologien der Mikrosysteme

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Beskrivelse

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

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Detaljer
  • SprogTysk
  • Sidetal246
  • Udgivelsesdato02-01-2023
  • ISBN139783658374976
  • Forlag Springer Vieweg
  • FormatPaperback
Størrelse og vægt
coffee cup img
10 cm
book img
16,8 cm
24 cm

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