Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

In zunehmendem Mae wird die Verwendungsmoglichkeit vieler technischer Produkte durch die Eigenschaften ihrer Oberflachen bestimmt. Daruber hinaus werden durch ge- eignete Kombination von Volumen-und Oberflacheneigenschaften neue technologische Anwendungen geschaffen. Dabei kommt der Verwendung dunner Schichten in vielen Industriebereichen eine immer groer werdende Bedeutung zu. Beispielsweise lat sich die Lebensdauer von Werkzeugen durch das Aufbringen extrem harter Nitridschichten vergroern. Die Korrosionsbestandigkeit metallischer Produkte kann in vielen Bereichen der metallverarbeitenden Industrie durch die Ver- wendung dunner Passivierungsschichten erhoht werden. Die Miniaturisierung von in- tegrierten Schaltungen ware ohne die Entwicklung der Dunnschichttechnologie nicht vorstellbar. Mit aus dunnen Schichten aufgebauten Beschichtungen lassen sich die Reflexions-oder Transmissionseigenschaften optischer Bauelemente gezielt beeinflus- sen. Die Verwendung solcher Schichtsysteme setzt dabei nicht nur eine detaillierte Kenntnis der neu entstandenen Oberflachen und Grenzflachen sowie der Zusammen- setzung und Struktur aufgebrachter Schichten, die sich je nach Herstellungsverfahren deutlich von denen der kompakten Materialien unterscheiden konnen, voraus. Es mu ferner ihre Herstellung oder gezielte Modifikation in jedem Schritt kontrollierbar sein, um Probleme wie mangelnde Haftung, Konzentrationsabweichungen oder Kontamina- tionen zu vermeiden.