Over 10 mio. titler Fri fragt ved køb over 499,- Hurtig levering 30 dages retur

Rapid Thermal Processing of Semiconductors

  • Format
  • E-bog, PDF
  • Engelsk
Er ikke web-tilgængelig
E-bogen er DRM-beskyttet og kræver et særligt læseprogram

Normalpris

kr. 2.519,95

Medlemspris

kr. 2.454,95
Som medlem af Saxo Premium 20 timer køber du til medlemspris, får fri fragt og 20 timers streaming/md. i Saxo-appen. De første 7 dage er gratis for nye medlemmer, derefter koster det 99,-/md. og kan altid opsiges. Løbende medlemskab, der forudsætter betaling med kreditkort. Fortrydelsesret i medfør af Forbrugeraftaleloven. Mindstepris 0 kr. Læs mere

Beskrivelse

Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.

Læs hele beskrivelsen
Detaljer
  • SprogEngelsk
  • Udgivelsesdato22-11-2013
  • ISBN139781489918048
  • Forlag Springer US
  • FormatPDF

Anmeldelser

Vær den første!

Log ind for at skrive en anmeldelse.

Findes i disse kategorier...

Se andre, der handler om...