Rapid Thermal Processing of Semiconductors
- Format
- E-bog, PDF
- Engelsk
- Indgår i serie
Er ikke web-tilgængelig
E-bogen er DRM-beskyttet og kræver et særligt læseprogram
Normalpris
kr. 2.519,95
Medlemspris
kr. 2.454,95
Beskrivelse
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
Detaljer
- SprogEngelsk
- Udgivelsesdato22-11-2013
- ISBN139781489918048
- Forlag Springer US
- FormatPDF
Anmeldelser
Vær den første!
Log ind for at skrive en anmeldelse.
Findes i disse kategorier...
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Matematik og naturvidenskab
- Fysik
- Materialer / stoffaser
- Kondenserede fasers fysik (væskeform og faststoffysik)
- Rapid Thermal Processing of Semiconductors