Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
Af
- Format
- E-bog, ePub
- Engelsk
- Indgår i serie
Er ikke web-tilgængelig
E-bogen er DRM-beskyttet og kræver et særligt læseprogram
Normalpris
kr. 1.129,95
Medlemspris
kr. 1.064,95
Beskrivelse
This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-assembly lithography (DSAL) is a highly promising patterning solution in sub-7nm technology.
Detaljer
- SprogEngelsk
- Udgivelsesdato21-03-2018
- ISBN139783319762944
- Forlag Springer International Publishing
- FormatePub
Anmeldelser
Vær den første!
Log ind for at skrive en anmeldelse.
Findes i disse kategorier...
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Teknologi, ingeniørvidenskab og landbrug
- Elektronik og kommunikationsteknik
- Elektroteknik
- Elektronik: kredse og komponenter
- Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Matematik og naturvidenskab
- Fysik
- Materialer / stoffaser
- Kondenserede fasers fysik (væskeform og faststoffysik)
- Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
- Fagbøger
- Andre fagbøger
- Teknologi, ingeniørvidenskab og landbrug
- Elektronik og kommunikationsteknik
- Elektroteknik
- Elektronisk udstyr og materialer
- Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography