Film sottili di ZnO drogati con alluminio sputati con magnetron DC

I film altamente conduttivi e trasparenti hanno molte applicazioni importanti come elettrodi trasparenti per dispositivi optoelettronici e specchi di calore trasparenti per l'utilizzo dell'energia solare. Anche se i film sottili di ossido di indio-stagno (ITO) sono generalmente usati per applicazioni pratiche, ITO è un materiale relativamente costoso perché l'indio non è abbondante. Recentemente i film sottili di ZnO drogati con Al hanno attirato l'interesse come materiale di rivestimento trasparente e conduttivo perché il basso costo di questo materiale lo rende attraente per applicazioni su larga scala. In questo libro, verranno discusse le condizioni di deposizione ottimizzate per la preparazione di film sottili di ZnO drogati con Al con il metodo di sputtering magnetron DC reattivo. Le proprietà strutturali, morfologiche superficiali, elettriche e ottiche dei film sottili di ZnO drogati con Al sono state riportate sistematicamente.