Awtomaticheskoe zapolnenie manekena dlq tehnologii DSM

Rastuschaq slozhnost' konstrukcij SBIS i tehnologij obrabotki IS uwelichiwaet nesootwetstwie mezhdu proektirowaniem i proizwodstwom. Shodstwo mezhdu shemoj, izgotowlennoj na plastine, i shemoj, razrabotannoj w instrumente komponowki, oslabewaet. Variacii processa, proizwodstwennye defekty i t.d. formiruüt nowye uzkie mesta w stoimosti (wremq wypolneniq, proizwoditel'nost') po mere togo, kak my wstupaem w äpohu SBIS nanometricheskogo masshtaba. Jeto pobuzhdaet k issledowaniqm, naprawlennym na powyshenie predskazuemosti i proizwoditel'nosti proizwodstwa SBIS, a takzhe sredstw tehnologii proektirowaniq dlq preodoleniq wariacij processa i litograficheskih oshibok. CMP i drugie ätapy proizwodstwa w glubokom submikronnom SBIS okazywaüt razlichnoe wliqnie na ustrojstwo i osobennosti soedineniq, w zawisimosti ot lokal'nyh harakteristik komponowki. Dlq powysheniq tehnologichnosti i predskazuemosti harakteristik, a takzhe dlq obespecheniq edinoobraziq komponowki w sootwetstwii s predpisannymi kriteriqmi plotnosti, w komponowku wstawlqetsq geometriq "manekena". Zaliwka manekena s polnym sloem struzhki qwlqetsq iteratiwnym processom, otnimaüschim mnogo wremeni i uwelichiwaüschim razmer GDS.